Yüzey Akustik Dalga Temelli Piezoelektrik Kütle Ölçüm Sensörünün Modal Analizi

Yüzey akustik dalgaları (YAD) kullanımının özgün uygulamalarında sıvı ve gaz ortamlarında biyolojik maddelerin ölçümü yer almaktadır. YAD sensörleri port denilen iç içe geçmiş elektrot bacaklarıyla tahrik edilir ve piezoelektrik etki sayesinde mekanik dalgalar kullanılan malzemelere göre farklı tiplerde yayılabilir. Dalga tiplerinin çalışma frekansına göre incelenmesi sistemin modal analiziyle mümkün olmaktadır. Bu çalışmada tahrik frekansında Love tipi dalga üretmesi beklenen bir sensörün açık-kaynak sonlu eleman çözüm kütüphanesi olan FEniCS ile modal analizi yapılmaktadır. 6 tane dalga kipi tahrik frekansı etrafında görülmüştür. Bunların arasında oluşması beklenen Love tipi dalgayı içeren kip tespit edilmiş, böylece sayısal analiz sonuçlarının cihaz tasarımında kullanılabilirliği gösterilmiştir.