Yüzey Akustik Dalga Temelli Piezoelektrik Kütle Ölçüm Sensörünün Frekans Cevabı Analizi

Yüzey akustik dalgaları (YAD) kullanımının özgün uygulamalarında sıvı ve gaz ortamlarında biyolojik maddelerin ölçümü yer almaktadır. YAD sensörleri port denilen iç içe geçmiş elektrot bacaklarıyla tahrik edilir ve kullanılan malzeme(ler) içinde farklı tiplerde dalgalar yayılabilir. Sensörün dinamik karakterizasyonunda kullanılan hesaplamalı analizlerinden bazıları özdeğer ve zamana bağlı çözümlerdir. İkisi beraber de kullanılabilir. Bu çalışmada her iki yöntem kullanılarak Love tipi dalga üreten bir sensörün frekans cevabı analizi yapılmaktadır. Temsili hacim elemanı (THE) ile yapılan analiz sonucu altı tane özdeğer 41.11 MHz tahrik frekansı etrafında 38.5294-48.2902 MHz aralığında bulunmuştur. Bir dilim modeli kullanılarak aynı tahrik frekansında zamana bağlı çözüm elde edilmiştir. Bulunan özdeğerler ve zamana bağlı çözümün Hızlı Fourier Dönüşümünden (HFD) elde edilen frekanslar ile \%1.00'in altında örtüşmüştür.